道天精密

光学数控铣磨机


道天科技研制的光学数控铣磨机,选用天然花岗岩底座及导轨,所有运动部件(主轴/转台/导轨)均采用气体静压技术,是一款针对硬脆材料进行磨削的超精磨级设备,可对光学玻璃、石英、硅、蓝宝石等多种光学材料进行加工,能够满足球面、非球面、自由曲面等不同结构的透镜、反射镜等精密级光学元件的加工精度要求。

光学数控抛光机


光学数控抛光机是应用于光学镜头表面细腻抛光加工的高精密级设备,可加工光学玻璃、石英、硅、蓝宝石等光学材料,能够满足球面、非球面等结果的透镜、反射镜等光学元件的加工需求。

气浮主轴/转台/导轨


道天科技研制的气浮主轴/转台,由高精密气浮轴承、直驱电机和旋转编码器组成。可用于车床、磨床、铣床等机床使用,用于磨削、车削、减薄、抛光、钻孔、划片、切割等工作场景。

铣磨砂轮


铣磨砂轮适配于立式或卧式磨床;铣磨砂轮用于加工单晶、多晶硅线切方棒表面及倒角加工,分为粗磨和精磨两道工序,目前道天精密有两类铣磨砂轮系列产品,分别是金属结合剂和树脂结合剂铣磨砂轮。道天精密铣磨砂轮产品寿命高,硅棒加工后表面质量好,粗糙度达标,无发白、砂轮印等质量缺陷。

籽晶套料钻


籽晶套料钻是一种为获取不同直径和长度的籽晶的加工磨具,常用于单晶、多晶硅籽晶,蓝宝石籽晶生产。

硅管套料钻


硅管套料钻是以环形磨削的方式在内孔中掏制出一根棒料的孔加工磨具。硅管套料钻主要用于钻取有内外径尺寸和长度要求的单晶、多晶硅管。硅管套料钻通常为一组两支搭配使用。

平行砂轮


平行砂轮,主要用于单/多晶硅、碳化硅、蓝宝石等表面加工。使用道天精密平行砂轮加工后的产品磨削面无崩边、刮痕、精度高。目前道天精密有三类平行砂轮系列产品,分别使用树脂结合剂、金属结合剂和陶瓷结合剂制成。 

倒角磨盘


倒角磨盘:倒角磨盘,主要用于光伏单晶、多晶硅料端面、玻璃制品口径倒角加工,倒角后粗糙度好、无崩边。当前道天精密有两类倒角磨盘系列产品,分别使用树脂结合剂与金属结合剂制成。

减薄砂轮


减薄砂轮目前在电子行业的LED芯片、集成电路硅片等领域有广泛应用,主要应用于半导体晶圆的减薄与研磨加工。加工对象包括:分立器件,集成电路衬底硅片、蓝宝石外延片,硅晶圆,砷化镓,GaN晶片,硅基芯片等。其应用工序主要有:背面减薄,正面磨削的粗磨加工和精研加工。我公司减薄砂轮规格a).规格:直径200mm/250mm/265mm/280mm/300mm/380mm等,并可以根据客户需求设计、制作各种单

倒角砂轮


目前在LED行业中,大部分半导体电路都是在蓝宝石基体材料的浅表面层上制造。由于制造工艺的要求,对晶片的尺寸精度、几何精度、边缘精度等提出很高要求。通常在芯片减薄前,需要对晶片的边缘碱性倒角。这一工艺通常被称为边缘倒角,对应装备就是倒角机。我公司的倒角砂轮主要应用于半导体晶圆的倒角加工。加工对象包括:集成电路衬底硅片、蓝宝石外延片,硅晶片,砷化镓,GaN晶片等。其应用工序主要有:边缘倒角。我公司槽轮
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