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晶体研磨精加工是半导体材料加工中的重要工序,平行砂轮主要应用于晶体外圆或平面精加工工序,实现加工尺寸稳定,料层免修锐,加工质量稳定,使用周期长等特点,本产品已在日本、德国及国产磨床上稳定使用,在粗磨和精研方面有独特优势。
外圆研磨(圆棒外圆)、 平面研磨(方砖表面、晶棒端面、定位边)
适合材料:硬脆材料,如工业人造蓝宝石、单晶硅、石英玻璃等
产品外型:平行、碗型
产品规格:
直径100-400mm
内孔32-203mm
砂宽10-40mm
砂高5-10mm
产品加工参数:进给量0.02-0.3mm
根据客户实际工况,设计开发适配产品;
1、免修整
我司产品采用陶瓷结合剂,加工过程不需修整砂轮,相对于目前常用的树脂结合剂省却了修锐工序,可减少产品加工工时20%左右。
2、寿命长
陶瓷砂轮寿命是树脂砂轮的3倍左右,可节约成本20%左右。
外圆磨床、平面磨床。