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减薄砂轮

减薄砂轮目前在电子行业的LED芯片、集成电路硅片等领域有广泛应用,主要应用于半导体晶圆的减薄与研磨加工。加工对象包括:分立器件,集成电路衬底硅片、蓝宝石外延片,硅晶圆,砷化镓,GaN晶片,硅基芯片等。其应用工序主要有:背面减薄,正面磨削的粗磨加工和精研加工。我公司减薄砂轮规格a).规格:直径200mm/250mm/265mm/280mm/300mm/380mm等,并可以根据客户需求设计、制作各种单

编号:

减薄砂轮目前在电子行业的LED芯片、集成电路硅片等领域有广泛应用,主要应用于半导体晶圆的减薄与研磨加工。

加工对象包括:分立器件,集成电路衬底硅片、蓝宝石外延片,硅晶圆,砷化镓,GaN晶片,硅基芯片等。其应用工序主要有:背面减薄,正面磨削的粗磨加工和精研加工。

我公司减薄砂轮规格

a). 规格: 直径200mm/250mm/265mm/280mm/300mm/380mm等,并可以根据客户需求设计、制作各种单环、多环、斜齿减薄砂轮。

b) 粒度: 230/270,270/325,400/500,600/700;

c). 端面跳动: ≤0.04mm

d). 外圆跳动: ≤0.05mm

e). 动平衡标准: G1

我司生产的研磨砂轮加工效率高、研磨划痕浅,研磨损伤层薄,加工质量优,使用寿命长,可使研磨工序的成本降低30%左右,目前已在多家客户代了进口产品。

客户实际使用数据:

1.配套于NTS研磨机的LN-297D系列砂轮单片可磨削2英寸衬底片18000片左右,4英寸衬底片5000片左右;

2.配套于GALAXY(凯勒斯)研磨机的LG-255D系列砂轮单片可磨削4英寸衬底片2000片左右;

3.配套于SPEEDFAM(创技)研磨机的LS-304D系列砂轮单片可磨削4英寸衬底片5000片左右。

韩国NTS、日本SHUWA,日本DISCO、台湾WEC、美国ENGIS等。